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Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)（PDS)

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)（PDS)，專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設(shè)計，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測，也可用于顯示市場等基板檢測。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場（FOV）掃描區(qū)域，支持上下表面檢測。其光學(xué)設(shè)計使產(chǎn)品在計量過程中無需移動即可完成檢測。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制，或直接集成至產(chǎn)線。

生產(chǎn)過程中的一致性測量

快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測 

操作簡便: 不受操作人員影響，自動化，潔凈抓取方式 

精準(zhǔn): 高分辨率測量（數(shù)量、位置、尺寸） 

一致性: 每次測量都保持客觀、穩(wěn)定

高通量: 能在工藝時間窗口內(nèi)得出結(jié)果

FM-PDS: 直接檢測表面顆粒

該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及優(yōu)良封裝應(yīng) 用，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。 

該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高 效且提供服務(wù)的選擇。

它能以手動或自動的操作方式，以及 較低的維護(hù)成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。 

對于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用， PDS 系統(tǒng)具備的屬性：雙面同 時掃描（選配）；

靜態(tài)視場掃描（在圖像采集過程中無需移動產(chǎn)品）。

多功能模塊化平臺

系 統(tǒng) 可 定 制，以 適 應(yīng) 每 個 生 產(chǎn) 認(rèn) 證 流 程，或 融 入 生 產(chǎn) 線 。其 配 置 包括手動或自動晶圓抓取移動設(shè)備、用于檢測和清潔的封裝開啟 設(shè)備、填充設(shè)備、機(jī)械臂、檢測單元以及清潔設(shè)備。 

該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展。測量模塊也可為系 統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商（OEM）提供貼牌服務(wù)。