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掃描電子顯微鏡通過束來掃描樣品的表面并生成高分辨率的圖像。因?yàn)樵搱D像具有很高的價(jià)值，所以一定要嚴(yán)格按照要求進(jìn)行操作。為了確保能夠得到清晰、準(zhǔn)確的顯微圖像，在使用要合理處理樣品。

優(yōu)勢：

1、高分辨率與寬放大倍數(shù)：

分辨率：常規(guī)SEM 1-10納米，場發(fā)射SEM 0.4-2納米。

放大倍數(shù)：10倍至1,000,000倍連續(xù)可調(diào)，覆蓋宏觀到納米尺度。

2、大景深與立體成像：景深比光學(xué)顯微鏡高數(shù)百倍，適合粗糙表面三維成像。

3、多功能分析：結(jié)合EDS、EBSD等附件，可同步分析形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu)。

4、非破壞性觀察：無需超薄切片，可直接觀察大塊樣品。

對(duì)樣品的要求有：

1、不會(huì)被電子束分解

2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好

3、能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道

4、大小與厚度要適于樣品臺(tái)的安裝

5、觀察面應(yīng)該清潔，無污染物

6、進(jìn)行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整

7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場的影響

使用過程中應(yīng)避免樣品污染電子槍或探測器，操作時(shí)佩戴手套。遵守實(shí)驗(yàn)室安全規(guī)程，避免長時(shí)間暴露于X射線。先降燈絲電流和高壓，再關(guān)閉真空系統(tǒng)，然后斷電。

掃描電子顯微鏡具有高分辨率、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和不斷發(fā)展的趨勢。它在材料科學(xué)、生命科學(xué)和納米技術(shù)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，為科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用提供了強(qiáng)大的工具。