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掃描電鏡下樣品降解效應(yīng):產(chǎn)生原因及解決辦法

 更新時(shí)間:2017-11-09 點(diǎn)擊量:2666

當(dāng)使用掃描電子顯微鏡(SEM)時(shí),隨著觀察時(shí)間增加,電子束可以*改變甚至降解在被觀察樣品。我們并不喜歡這種降解過(guò)程,因?yàn)樗鼤?huì)改變或甚至破壞觀察細(xì)節(jié),從而影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。本文會(huì)講述降解效應(yīng)的產(chǎn)生原因以及解決辦法。


在掃描電鏡 SEM 中是使用聚焦電子束掃描樣品表面,獲取信號(hào)并處理來(lái)獲得圖像。電子由燈絲產(chǎn)生并被高壓電場(chǎng)加速。高壓一般在 1 kV 至 30 kV 之間,典型的束流一般在納安范圍。


經(jīng)過(guò)高壓加速的電子與樣品表面相互作用,對(duì)于不導(dǎo)電樣品,這種相互作用可能損害樣品和降解樣品。該過(guò)程表現(xiàn)為樣品表面產(chǎn)生的裂紋,或者是材料熔化甚至沸騰。降解速度隨加速電壓,觀察束流和放大倍數(shù)的變化而變化。

 

圖1:不同種類非導(dǎo)電材料的降解現(xiàn)象

 

 

對(duì)于那些看起來(lái)像是熔化或沸騰了的樣品,你可能會(huì)認(rèn)為是由于材料被電子束加熱導(dǎo)致的。 然而實(shí)際模擬結(jié)果表明,只有對(duì)于案例,溫度才會(huì)達(dá)到材料的熔點(diǎn)。在這些案例中,是用極大束流、*倍數(shù)聚焦極低熱導(dǎo)系數(shù)的樣品。不過(guò),在低束流和低放大倍數(shù)下也可以發(fā)生降解效應(yīng),只是需要的時(shí)間更久些。

 

是什么原因?qū)е陆到庑?yīng)?


入射電子照射到樣品上之后,與樣品原子中的電子發(fā)生相互作用。如果價(jià)電子碰巧被激發(fā),它將留下一個(gè)空穴。該電子空穴必須在 100 飛秒內(nèi)(即原子振動(dòng)周期)被另一個(gè)電子填充,否則化學(xué)鍵將斷裂。在導(dǎo)電材料中,這不是問(wèn)題,因?yàn)殡娮涌昭ㄌ畛湓?1 飛秒(fs)內(nèi)。但是對(duì)于非導(dǎo)電材料,可能需要多達(dá)幾微秒來(lái)填充電子空穴,導(dǎo)致化學(xué)鍵被破壞,進(jìn)而改變化學(xué)材料及其形態(tài)。

 

如何減緩降解效應(yīng)?


降解速度因材料不同而有很大差異,有些樣品你可能根本看不到。如果樣品降解并且會(huì)干擾您的結(jié)果,那么這里有一些提示可以減緩降解:

  • 用噴金設(shè)備濺射金膜涂覆樣品以減緩降解。金膜越厚,效果越好。但要小心,不要用金膜遮蓋細(xì)節(jié)。
  • 降低電流和加速電壓。
  • 在樣品的非重要區(qū)域調(diào)整拍照參數(shù)(例如對(duì)焦和對(duì)比度)。當(dāng)設(shè)置好之后,移動(dòng)到目標(biāo)區(qū)域,立即拍照并迅速離開(kāi),這樣就盡可能減少了電子束照射時(shí)間。

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